面板抛光设备压力均匀性——压力测量胶片在显示面板制造中的实战

面板抛光设备的压力均匀性决定面板表面质量：抛光压力偏载造成表面波纹与光泽度差异，返工成本高昂。

本文介绍面板抛光设备的压力检测：大尺寸整面布片与分段采集方案、抛光头压力分布与表面缺陷的对应关系、抛光垫状态评估。面板制造设备验收与定期精度校验的实用方法。