晶圆抛光与液晶面板——为什么离不开压力均匀性检测

晶圆抛光与液晶面板抛光共享同一物理本质：抛光压力均匀性决定表面质量。压力不均造成抛光速率差异，表现为表面波纹、残留颗粒与厚度不均。

本文横向对比晶圆抛光与面板抛光的压力检测要点：大尺寸面板（整面布片与拼接方法）与晶圆（小尺寸高精度检测）的差异、抛光垫状态对压力分布的影响、抛光机台面平行度验证。跨行业的压力均匀性检测方法论。