静电吸盘与晶圆接触压力检测——感压纸在半导体制造设备维护中的实战

静电吸盘（ESC）依靠静电力吸附晶圆，吸附力的均匀性影响晶圆平整度与工艺均匀性；吸盘老化、电极异常造成的吸附不均，是诸多工艺缺陷的隐藏根因。

本文介绍静电吸盘的接触压力检测：胶片在吸盘与模拟负载间的布片方式、吸附力分布图的判读要点（电极分区对应关系）、点检周期的设定建议。半导体制造设备维护的实用工具。